A silicon micromachined f-thetha microlens scanner array by double-deck device design technique

A silicon micromachined f-thetha microlens scanner array by double-deck device design technique
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采用双层器件设计技术的硅微机械f-thetha微透镜扫描仪阵列

DOI:
--
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发表时间:
2007
期刊:
IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 13
影响因子:
--
通讯作者:
Kazuhiro Takahashi
Kazuhiro Takahashi
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Kazuhiro Takahashi

文献摘要

参考文献

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