Development of a TES Microcalorimeter with a Mushroom Shaped Absorber Deposited on an Insulating Layer in an Overhang Region
Development of a TES Microcalorimeter with a Mushroom Shaped Absorber Deposited on an Insulating Layer in an Overhang Region
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开发带有沉积在悬垂区域绝缘层上的蘑菇形吸收器的 TES 微量热计
DOI：
10.1007/s10909-012-0469-y
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发表时间：
2012
影响因子：
2
通讯作者：
K. Maehata
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Negoro;H.;MAXI Team;K. Maehata
研制了一种用于透射电子显微镜能谱仪的3 × 3 +1超导过渡边传感器（TES）阵列。为了增加灵敏面积，每个TES微量热计由Ti/Au双层膜和蘑菇形吸收体组成。蘑菇形吸收体由0.5 μm厚的Au层制成。TES和吸收体的表面积的几何尺寸分别为350 μ m × 350 μm和330 μ m × 330 μm。横截面积为150 μ m ~ 150 μm的吸收柱沉积在TES表面的中心。在吸收体的外伸层和TES表面之间插入0.1 μm厚的Ta 2 O 5绝缘层。TES微量热计的一个像素用于检测从55 Fe源发射的X射线光子。
A 3Î3+1 superconducting transition-edge sensor (TES) microcalorimeter-array has been developed for the energy dispersive spectrometer performed on a transmission electron microscope. For increasing sensitive area, each TES microcalorimeter consisted of a Ti/Au bilayer and a mushroom shaped absorber. The mushroom shaped absorber is made from a Au layer of 0.5áμm thick. Geometrical dimensions of the surface area of the TES and the absorber are 350áμmÎ350áμm and 330áμmÎ330áμm, respectively. The absorber stem of 150áμmÎ150áμm in the cross sectional area is deposited on the center of the TES surface. A Ta2O5insulating layer of 0.1áμm thick is inserted between the overhang layer of the absorber and the TES surface. One pixel of the TES microcalorimeter was operated for detecting X-ray photons emitted from an55Fe source.
超导过渡边缘X射线热量计的设计与制造
DOI：
10.1016/s0168-9002(99)01355-8
发表时间：
2000
影响因子：
1.4
作者：
N. Tralshawala;S. Aslam;R. Brekosky;T. C. Chen;E. F. Feliciano;F. Finkbeiner;M. Li;D. B. Mott;C. Stahle;C. Stahle
通讯作者：
C. Stahle
用于 TES 的悬垂结构厚金属吸收体的制造
影响因子：
1.8
作者：
Young Hwa Lee;J. B. Bae;Il;Yong;Hwachol Lee;Kyoung Beom Lee;Min Kyu Lee;Sang Jun Lee
通讯作者：
Sang Jun Lee
Constellation-X 过渡边缘传感器 X 射线微热量计的制造
DOI：
10.1016/j.nima.2003.11.372
发表时间：
2004
影响因子：
1.4
作者：
J. Chervenak;F. Finkbeiner;T. Stevenson;D. Talley;R. Brekosky;S. Bandler;E. Figueroa;M. Lindeman;R. Kelley;T. Saab;C. Stahle
通讯作者：
C. Stahle