Fabrication of Bragg grating sensors in UV-NIL structured Ormocer waveguides
Fabrication of Bragg grating sensors in UV-NIL structured Ormocer waveguides
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UV-NIL 结构 Ormocer 波导中布拉格光栅传感器的制造
DOI：
10.1117/12.2249665
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
und R. Hellmann
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Girschikofsky;M. Förthner;M. Rommel;L. Frey;und R. Hellmann
我们报道了利用相位掩模技术在紫外-近红外结构的Ormocer混合聚合物脊型波导中制作布拉格光栅并进行了表征。实验确定了制作参数如在刻纹过程中施加的激光能量密度和光栅长度对波导布拉格光栅光谱行为的影响，并与数值模拟和计算进行了比较。为了研究潜在的传感器应用，确定了由此制造的光学器件对光栅周围的折射率变化的灵敏度（生物和化学传感的资格）以及对温度和相对湿度的灵敏度。
We report on the fabrication and characterization of Bragg gratings in UV-NIL structured Ormocer hybrid polymer rib-type waveguides using phase mask technology. The influence of fabrication parameters such as the applied laser fluence during the inscription process and the grating's length on the spectral behavior of the waveguide Bragg gratings was experimentally determined and compared to numerical simulations and calculations. To investigate potential sensor applications, the sensitivity of the thus fabricated optical devices towards refractive index changes of the gratings' surrounding (qualification for bio- and chemical sensing) as well as the sensitivity towards temperature and relative humidity were determined.
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