Architecture of superthick diamond-like carbon films with excellent high temperature wear resistance
Architecture of superthick diamond-like carbon films with excellent high temperature wear resistance
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具有优异高温耐磨性的超厚类金刚石碳膜结构
DOI：
10.1016/j.triboint.2014.08.017
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发表时间：
2015
影响因子：
6.2
通讯作者：
Liping Wang
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Junjun Wang;Jibin Pu;Guangan Zhang;Liping Wang
使用等离子体增强化学气相沉积系统沉积超厚类金刚石碳（DLC）基薄膜（（Six-DLC/Siy-DLC）n）。这项工作的目的是研究超厚薄膜的性能，以验证增加 DLC 薄膜的厚度是否有可能改善其在高温下的性能。研究表明，超厚 (Six-DLC/Siy-DLC)n 薄膜在高达 500 °C 的温度下表现出优异的摩擦学性能。原因之一是在磨损轨迹的顶部形成了一层由纳米晶体 SiC 组成的薄层。另一个是应力主要集中在顶面附近。
A plasma-enhanced chemical vapor deposition system was used to deposit super thick diamond-like carbon (DLC)-based films ((Six-DLC/Siy-DLC)n). The aim of this work is to investigate the properties of super thick films to verify that increasing the thickness of DLC films offers the possibility of improving their properties at high temperatures. The investigation revealed that superthick (Six-DLC/Siy-DLC)nfilm exhibited excellent tribological property up to 500 °C. One reason is that a thin layer that consists of nanocrystals SiC is formed on the top of wear track. Another is that the stress mostly concentrates near the top surface.
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