Approaching Rapid, High‐Resolution, Large‐Area Patterning of Semiconducting Polymers Using Projection Photothermal Lithography

Approaching Rapid, High‐Resolution, Large‐Area Patterning of Semiconducting Polymers Using Projection Photothermal Lithography
复制标题

使用投影光热光刻技术实现半导体聚合物的快速、高分辨率、大面积图案化

DOI:
10.1002/admt.202100812
复制
发表时间:
2021
影响因子:
6.8
通讯作者:
Moulé, Adam J.
Moulé, Adam J.
中科院分区:
材料科学2区
文献类型:
--
作者:
Murrey, Tucker L.;Mulvey, Justin T.;Jha, Meghna;Fergerson, Alice S.;Vong, Daniel;Soika, Andreas;Lorek, Jakob;Dolan, Sarah E.;Tiffany‐Appleton, Daniel R.;Moulé, Adam J.

文献摘要

参考文献

相似文献

DOI: 10.1002/aelm.202000469
发表时间: 2020-09-13
影响因子: 6.2
作者:
Bedolla-Valdez, Zaira I.;Xiao, Rui;Moule, Adam J.
通讯作者: Moule, Adam J.
DOI: --
发表时间: 1991
期刊:
影响因子: --
作者:
M. Angelopoulos;J. Shaw;K. Lee;Wu;M. Lecorre;M. Tissier
通讯作者: M. Tissier
150纳米一代光刻设备
DOI: --
发表时间: 1999
期刊: Advanced Lithography
影响因子: --
作者:
N. Deguchi;S. Uzawa
通讯作者: S. Uzawa
DOI: 10.1002/adfm.200800683
发表时间: 2008-12-22
影响因子: 19
作者:
Na, Seok-In;Kim, Seok-Soon;Kim, Dong-Yu
通讯作者: Kim, Dong-Yu
聚合物分级
DOI: --
发表时间: 1994
期刊: Springer Lab Manual
影响因子: --
作者:
Dr. rer. nat. Frieder Francuskiewicz
通讯作者: Dr. rer. nat. Frieder Francuskiewicz