Interfacial residual stresses in semiconductor devices measured on the nano-scale by cathodoluminescence piezospectroscopy
Interfacial residual stresses in semiconductor devices measured on the nano-scale by cathodoluminescence piezospectroscopy
复制标题
通过阴极发光压电光谱法在纳米尺度上测量半导体器件中的界面残余应力
DOI:
--
复制
发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
G.PEZZOTTI
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
A.A.PORPORATI;N.FURUKAWA;W.ZHU;G.PEZZOTTI;G.PEZZOTTI
登录
查看更多内容
DOI:
10.1116/1.583893
发表时间:
1987
期刊:
影响因子:
--
作者:
K. Lee;J. Frost;C. Stanley;W. Patrick;W. Mackie;S. Beaumont;C. Wilkinson
通讯作者:
C. Wilkinson
DOI:
10.1063/1.330023
发表时间:
1982
期刊:
影响因子:
--
作者:
H. Asai;K. Oe
通讯作者:
K. Oe
DOI:
10.1002/pssb.200301530
发表时间:
2003
期刊:
影响因子:
--
作者:
A. Wysmołek;M. Potemski;R. Stępniewski;J. Baranowski;D. Look;S. K. Lee;J. Y. Han
通讯作者:
J. Y. Han
DOI:
--
发表时间:
2002
期刊:
影响因子:
--
作者:
T. Fett
通讯作者:
T. Fett