Interfacial residual stresses in semiconductor devices measured on the nano-scale by cathodoluminescence piezospectroscopy

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通过阴极发光压电光谱法在纳米尺度上测量半导体器件中的界面残余应力

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
Solid State Phenomena 127
影响因子:
--
通讯作者:
G.PEZZOTTI
G.PEZZOTTI
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
A.A.PORPORATI;N.FURUKAWA;W.ZHU;G.PEZZOTTI;G.PEZZOTTI

文献摘要

参考文献

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T. Fett
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