Electric-Field-Assisted Metal-Induced Lateral Crystallization of Amorphous SiGe on SiO_2
Electric-Field-Assisted Metal-Induced Lateral Crystallization of Amorphous SiGe on SiO_2
复制标题
SiO_2上电场辅助金属诱导非晶SiGe横向结晶
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Kanno;et al.
通过聚焦离子束对 SiO2 进行剂量依赖性蚀刻选择性
影响因子：
1.5
作者：
T. Sadoh;H. Eguchi;A. Kenjo;M. Miyao
通讯作者：
M. Miyao
Au介导横向结晶在SiO_2上低温形成Poly-Si_<1-x>Ge_x (x : 0-1)
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Jpn. J. Appl. Phys. 44(4B)
影响因子：
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作者：
T.Sadoh;et al.;H.Kanno 他;T.Sadoh 他;H.Kanno 他
通讯作者：
H.Kanno 他
绝缘体上非晶 SiGe 薄膜的金属诱导固相结晶
影响因子：
1.5
作者：
H. Kanno;I. Tsunoda;A. Kenjo;T. Sadoh;S. Yamaguchi;M. Miyao
通讯作者：
M. Miyao