Substrate temperature induced physical property variation of InxAl1-xN alloys prepared on Al2O3 by magnetron sputtering
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Al2O3 磁控溅射制备 InxAl1-xN 合金基体温度引起的物理性能变化
DOI：
10.1016/j.vacuum.2020.109512
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发表时间：
2020-09
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
Zhao Yang
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Zhou Yijian;Peng Wenbo;Li Jingjie;Liu Yue;Zhu Xuefeng;Wei Jiaqing;Wang Hui;Zhao Yang
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