"Materials And Process Controls For Scalable and Reliable Germanium Gate Stacks"
"Materials And Process Controls For Scalable and Reliable Germanium Gate Stacks"
复制标题
“可扩展且可靠的锗门堆栈的材料和过程控制”
DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Akira. Toriumi
中科院分区:
文献类型:
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作者:
呂 琳;熊谷征久;鈴木匠; 東川 甲平;木須 隆暢;Akira. Toriumi
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DOI:
10.1007/978-3-540-71491-0
发表时间:
2007-11
期刊:
--
影响因子:
--
作者:
A. Dimoulas;E. Gusev;P. McIntyre;M. Heyns
通讯作者:
A. Dimoulas;E. Gusev;P. McIntyre;M. Heyns
影响因子:
2.3
作者:
T. Nishimura;C. Lee;K. Nagashio;A. Toriumi
通讯作者:
A. Toriumi
影响因子:
2.3
作者:
C. Lee;T. Tabata;T. Nishimura;K. Nagashio;K. Kita;A. Toriumi
通讯作者:
C. Lee;T. Tabata;T. Nishimura;K. Nagashio;K. Kita;A. Toriumi
影响因子:
2.3
作者:
Nishimura, Tomonori;Kita, Koji;Toriumi, Akira
通讯作者:
Toriumi, Akira