"Materials And Process Controls For Scalable and Reliable Germanium Gate Stacks"

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“可扩展且可靠的锗门堆栈的材料和过程控制”

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Akira. Toriumi
Akira. Toriumi
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
呂 琳;熊谷征久;鈴木匠; 東川 甲平;木須 隆暢;Akira. Toriumi

文献摘要

参考文献

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