Formation of Si/SiC Heterostructures on Si(100) by Hot-Filament-Assisted CH3SiH3 Gas Jet Chemical Vapor Deposition

Formation of Si/SiC Heterostructures on Si(100) by Hot-Filament-Assisted CH3SiH3 Gas Jet Chemical Vapor Deposition
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热丝辅助 CH3SiH3 气体喷射化学气相沉积在 Si(100) 上形成 Si/SiC 异质结构

DOI:
--
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发表时间:
2006
期刊:
Japanese Journal of Applied Physics 45・4A(In press)
影响因子:
--
通讯作者:
T.Motooka
T.Motooka
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
R.Ohtani;Y.Ikoma;T.Motooka

文献摘要

参考文献

被引文献

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