A Three-Dimensional MOS Transistor Formation Technique with Crystallographic Orientation-Dependent TMAH Etchant

A Three-Dimensional MOS Transistor Formation Technique with Crystallographic Orientation-Dependent TMAH Etchant
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采用依赖于晶体取向的 TMAH 蚀刻剂的三维 MOS 晶体管形成技术

DOI:
--
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发表时间:
2004
期刊:
SENSORS and ACTUATORS A : PHYSICAL A111
影响因子:
--
通讯作者:
T.Masuda
T.Masuda
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
H.Sunami;T.Furukawa;T.Masuda

文献摘要

参考文献

被引文献

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