A Three-Dimensional MOS Transistor Formation Technique with Crystallographic Orientation-Dependent TMAH Etchant
A Three-Dimensional MOS Transistor Formation Technique with Crystallographic Orientation-Dependent TMAH Etchant
复制标题
采用依赖于晶体取向的 TMAH 蚀刻剂的三维 MOS 晶体管形成技术
DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
T.Masuda
中科院分区:
文献类型:
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作者:
H.Sunami;T.Furukawa;T.Masuda
影响因子:
4.9
作者:
H. Sunami;T. Kure;N. Hashimoto;K. Itoh;T. Toyabe;S. Asai
通讯作者:
S. Asai
影响因子:
3.1
作者:
H. Sunami;T. Kure;N. Hashimoto;K. Itoh;T. Toyabe;S. Asai
通讯作者:
S. Asai
DOI:
10.1109/cicc.2000.852696
发表时间:
2000
期刊:
Proceedings of the IEEE 2000 Custom Integrated Circuits Conference (Cat. No.00CH37044)
影响因子:
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作者:
T. Inukai;M. Takamiya;Kouichi Nose;H. Kawaguchi;T. Hiramoto;T. Sakurai
通讯作者:
T. Sakurai