Flat and highly flexible composite stamps for nanoimprint, their preparation and their limits
Flat and highly flexible composite stamps for nanoimprint, their preparation and their limits
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用于纳米压印的扁平且高度柔性的复合印模、其制备及其局限性
DOI：
10.1116/1.4965703
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H.-C. Scheer
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Papenheim;A. Mayer;S. Wang;C. Steinberg;H.-C. Scheer
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DOI：
10.1116/1.3656048
发表时间：
2011
期刊：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
影响因子：
--
作者：
A. Mayer;S. Moellenbeck;K. Dhima;Si Wang;H. Scheer
通讯作者：
H. Scheer
针对不稳定引起的 3D 图案的印章设计
影响因子：
2.3
作者：
A. Mayer;M. Papenheim;K. Dhima;S. Wang;C. Steinberg;H.-C. Scheer;F. Schröter
通讯作者：
F. Schröter
影响因子：
2.3
作者：
Klukowska, Anna;Kolander, Anett;Schoeftner, Rainer
通讯作者：
Schoeftner, Rainer
基于 OrmoStamp 的热纳米压印柔性复合印模
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
M. Papenheim;C. Steinberg;K. Dhima;Si Wang;H. Scheer
通讯作者：
H. Scheer
DOI：
10.1007/s00339-015-9301-2
发表时间：
2015
期刊：
Applied Physics A
影响因子：
--
作者：
M. Papenheim;K. Dhima;S. Wang;C. Steinberg;H.-C. Scheer
通讯作者：
H.-C. Scheer