Effects of the high-temperature-annealed self-buffer layer on the improved properties of ZnO epilayers grown by helicon-wave-excited-plasma sputtering epitaxy on a-plane sapphire

Effects of the high-temperature-annealed self-buffer layer on the improved properties of ZnO epilayers grown by helicon-wave-excited-plasma sputtering epitaxy on a-plane sapphire
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高温退火自缓冲层对a面蓝宝石螺旋波激发等离子体溅射外延生长ZnO外延层性能改善的影响

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
Journal of Applied Physics Vol. 102
影响因子:
--
通讯作者:
S. F. Chichibu
S. F. Chichibu
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
T. Koyama;N. Shibata;A. N. Fouda;S. F. Chichibu

文献摘要

参考文献

被引文献

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