Effects of the high-temperature-annealed self-buffer layer on the improved properties of ZnO epilayers grown by helicon-wave-excited-plasma sputtering epitaxy on a-plane sapphire
Effects of the high-temperature-annealed self-buffer layer on the improved properties of ZnO epilayers grown by helicon-wave-excited-plasma sputtering epitaxy on a-plane sapphire
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高温退火自缓冲层对a面蓝宝石螺旋波激发等离子体溅射外延生长ZnO外延层性能改善的影响
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
S. F. Chichibu
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
T. Koyama;N. Shibata;A. N. Fouda;S. F. Chichibu
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影响因子:
41.2
作者:
Tsukazaki, A;Ohtomo, A;Kawasaki, M
通讯作者:
Kawasaki, M
DOI:
10.1143/jjap.44.l643
发表时间:
2005-01-01
期刊:
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS
影响因子:
--
作者:
Tsukazaki, A;Kubota, M;Kawasaki, M
通讯作者:
Kawasaki, M
影响因子:
4
作者:
T. Koyama;T. Onuma;S. Chichibu
通讯作者:
S. Chichibu
DOI:
--
发表时间:
2008
期刊:
Phvsica Status Solidi (c)5
影响因子:
--
作者:
S. Takahata;K. Saiki;T. Imao;H. Nakanishi;M. Sugiyama;S. F. Chichibu;H.Amaike;S.Takahata;S.Masaki;S. Takahata;S. Masaki
通讯作者:
S. Masaki
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Semicond. Sci. Technol. 20
影响因子:
--
作者:
T.Yonehara;T.Yamamoto;S.Kato;S. F. Chichibu
通讯作者:
S. F. Chichibu