Conformal SiO2 coating of sub-100 nm diameter channels of polycarbonate etched ion-track channels by atomic layer deposition

Conformal SiO2 coating of sub-100 nm diameter channels of polycarbonate etched ion-track channels by atomic layer deposition
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通过原子层沉积对聚碳酸酯蚀刻离子轨道通道的亚 100 nm 直径通道进行保形 SiO2 涂层

DOI:
10.3762/bjnano.6.48
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发表时间:
2015
影响因子:
3.1
通讯作者:
C. Trautmann
C. Trautmann
中科院分区:
材料科学3区
文献类型:
--
作者:
N. Sobel;C. Hess;M. Lukas;A. Spende;B. Stühn;M. Toimil-Molares;C. Trautmann

文献摘要

参考文献

被引文献

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