Conformal SiO2 coating of sub-100 nm diameter channels of polycarbonate etched ion-track channels by atomic layer deposition
Conformal SiO2 coating of sub-100 nm diameter channels of polycarbonate etched ion-track channels by atomic layer deposition
复制标题
通过原子层沉积对聚碳酸酯蚀刻离子轨道通道的亚 100 nm 直径通道进行保形 SiO2 涂层
DOI:
10.3762/bjnano.6.48
复制
发表时间:
2015
影响因子:
3.1
通讯作者:
C. Trautmann
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
N. Sobel;C. Hess;M. Lukas;A. Spende;B. Stühn;M. Toimil-Molares;C. Trautmann
登录
查看更多内容
DOI:
10.1007/s00339-009-5346-4
发表时间:
2009-10-01
影响因子:
2.7
作者:
Engel, Martin;Stuehn, Bernd;Naumann, Maike
通讯作者:
Naumann, Maike
DOI:
10.1007/s00339-013-8167-4
发表时间:
2013
期刊:
Applied Physics A
影响因子:
--
作者:
B. Kuttich;M. Engel;C. Trautmann;B. Stühn
通讯作者:
B. Stühn
DOI:
--
发表时间:
1995
期刊:
影响因子:
--
作者:
C. Mckee
通讯作者:
C. Mckee
DOI:
--
发表时间:
2008
期刊:
Thin Solid Films 516
影响因子:
--
作者:
Miao Zhang;・広川 二郎・安藤 真;Wakana Hara;Wakana Hara
通讯作者:
Wakana Hara
影响因子:
10.8
作者:
VanDersarl, Jules J.;Xu, Alexander M.;Melosh, Nicholas A.
通讯作者:
Melosh, Nicholas A.