Merging parallel-plate and levitation actuators to enable linearity and tunability in electrostatic MEMS
Merging parallel-plate and levitation actuators to enable linearity and tunability in electrostatic MEMS
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合并平行板和悬浮执行器以实现静电 MEMS 的线性度和可调性
DOI：
10.1063/1.5092980
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发表时间：
2019
影响因子：
3.2
通讯作者：
Towfighian, Shahrzad
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Pallay, Mark;Miles, Ronald N.;Towfighian, Shahrzad
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开关间歇性
影响因子：
4
作者：
M. S. Al;M. Khater;E. Abdel
通讯作者：
E. Abdel
DOI：
10.1016/j.sna.2018.04.001
发表时间：
2018-07
期刊：
Sensors and Actuators A: Physical
影响因子：
--
作者：
Mark Pallay;Shahrzad Towfighian
通讯作者：
Mark Pallay;Shahrzad Towfighian
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影响因子：
4
作者：
Pallay, Mark;Towfighian, Shahrzad
通讯作者：
Towfighian, Shahrzad
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影响因子：
4.3
作者：
R. Miles
通讯作者：
R. Miles