Ion-beam induced atomic mixing in isotopically controlled silicon multilayers
Ion-beam induced atomic mixing in isotopically controlled silicon multilayers
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同位素控制硅多层中的离子束诱导原子混合
DOI：
10.1063/1.4967317
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发表时间：
2016
影响因子：
3.2
通讯作者：
M. Posselt
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Radek;H. Bracht;B. LiedkeR. Böttger;M. Posselt
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DOI：
--
发表时间：
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通讯作者：
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通讯作者：
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