Cohesion Property of Resist Pattern Surface analyzed by Tip Indentation Method
Cohesion Property of Resist Pattern Surface analyzed by Tip Indentation Method
复制标题
针尖压痕法分析光刻胶图案表面的内聚性能
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Akira Kawai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akira Kawai;Masahito Hirano;Takayoshi Niiyama;Akira Kawai
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