TiOx/結晶Siヘテロ構造における電極製膜後のパッシベーション性能の定量的評価の検討
TiOx/結晶Siヘテロ構造における電極製膜後のパッシベーション性能の定量的評価の検討
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TiOx/晶硅异质结构电极成膜后钝化性能定量评价研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宇佐美 徳隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
深谷 昌平;後藤 和泰;松井 卓矢;齋 均;黒川 康良;宇佐美 徳隆
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精确成分控制的锆钛酸铅薄膜单靶溅射工艺
DOI：
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发表时间：
1991
期刊：
影响因子：
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作者：
K. Torii;T. Kaga;K. Kushida;Hiroshi Takeuchi Hiroshi Takeuchi;Eiji Takeda Eiji Takeda
通讯作者：
Eiji Takeda Eiji Takeda
利用分子设计的醇盐前驱体溶液低温加工铁电 Pb(Zr0.53Ti0.47)O3 薄膜
影响因子：
1.5
作者：
Hisao Suzuki;M. B. Othman;K. Murakami;S. Hayashi
通讯作者：
S. Hayashi
采用溶胶-凝胶法制备 0.5 µm 厚的自图案化 PZT 薄膜，应用于微检测系统
影响因子：
2.3
作者：
J. Hwang;Woo;Hyung‐Ho Park;Tae Song Kim
通讯作者：
Tae Song Kim
使用无机锆盐的溶胶-凝胶衍生外延 (PbZr)TiO3 薄膜的厚度依赖结构特性
影响因子：
1.8
作者：
A. Li;C. Mak;K. H. Wong;Q. Shao;Yewu Wang;Di Wu;N. Ming
通讯作者：
N. Ming
稳定铂电极上溅射 PZT 薄膜的电性能
DOI：
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发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
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作者：
G. Vélu;D. Remiens
通讯作者：
D. Remiens