Multilayer Soft Photolithography Fabrication of Microfluidic Devices Using a Custom-Built Wafer-Scale PDMS Slab Aligner and Cost-Efficient Equipment.
Multilayer Soft Photolithography Fabrication of Microfluidic Devices Using a Custom-Built Wafer-Scale PDMS Slab Aligner and Cost-Efficient Equipment.
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DOI：
10.3390/mi13081357
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发表时间：
2022-08-20
期刊：
影响因子：
3.4
通讯作者：
Ahsan, Fakhrul
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Nguyen, Trieu;Sarkar, Tanoy;Tran, Tuan;Moinuddin, Sakib M.;Saha, Dipongkor;Ahsan, Fakhrul
我们提出了一个强大的，低成本的制造方法，实现在多层软光刻创建一个PDMS微流控芯片具有多个高度水平的功能。这种制造方法既不需要洁净室设施，也不需要昂贵的UV曝光机。该方法的中心部分停留在晶圆级上的多个PDMS板的对准上，而不是使用复杂的掩模对准器对位于先前曝光层正上方的光掩模应用对准。我们使用连接到真空镊子的手动XYZR台来操纵顶部PDMS板。底部PDMS板位于旋转台上，以方便地与顶部对齐。两块板的运动由具有同轴光源的单目镜观察。作为一个说明的潜力，这个系统的快速和低成本的多层微流控器件的生产，我们展示了一个三维微流控混沌混合器的微制造。还讨论了另一种用于制造多个高度水平的替代方法，即微铣削方法。
We present a robust, low-cost fabrication method for implementation in multilayer soft photolithography to create a PDMS microfluidic chip with features possessing multiple height levels. This fabrication method requires neither a cleanroom facility nor an expensive UV exposure machine. The central part of the method stays on the alignment of numerous PDMS slabs on a wafer-scale instead of applying an alignment for a photomask positioned right above a prior exposure layer using a sophisticated mask aligner. We used a manual XYZR stage attached to a vacuum tweezer to manipulate the top PDMS slab. The bottom PDMS slab sat on a rotational stage to conveniently align with the top part. The movement of the two slabs was observed by a monocular scope with a coaxial light source. As an illustration of the potential of this system for fast and low-cost multilayer microfluidic device production, we demonstrate the microfabrication of a 3D microfluidic chaotic mixer. A discussion on another alternative method for the fabrication of multiple height levels is also presented, namely the micromilling approach.
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DOI：
10.3390/bios12080587
发表时间：
2022-08-01
期刊：
Biosensors
影响因子：
--
作者：
通讯作者：
--
影响因子：
6.2
作者：
Mohanty, Soumyaranjan;Alm, Martin;Emneus, Jenny
通讯作者：
Emneus, Jenny
影响因子：
6.1
作者：
Araci, Ismail Emre;Quake, Stephen R.
通讯作者：
Quake, Stephen R.
影响因子：
8.4
作者：
Aghvami, S. Ali;Opathalage, Achini;Fraden, Seth
通讯作者：
Fraden, Seth
影响因子：
2.4
作者：
DasGupta, Debabrata;Mondal, Pranab Kumar;Chakraborty, Suman
通讯作者：
Chakraborty, Suman