Passive vibration compensation in scanning white-light interferometry.
Passive vibration compensation in scanning white-light interferometry.
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扫描白光干涉测量中的被动振动补偿
DOI：
10.1364/ao.55.006172
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
1.9
通讯作者：
A. Brückner-Foit
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Tereschenko;P. Lehmann;L. Zellmer;A. Brückner-Foit
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J. Schmit