Optimization of inductively coupled plasma etching for distributed Bragg reflectors in vertical cavity surface emitting lasers
Optimization of inductively coupled plasma etching for distributed Bragg reflectors in vertical cavity surface emitting lasers
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垂直腔表面发射激光器中分布式布拉格反射器的电感耦合等离子体蚀刻的优化
DOI：
10.1016/j.vacuum.2021.110175
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发表时间：
2021-03
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
Dexin Wu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Meng Xun;Guanzhong Pan;Runze Zhang;Zhuangzhuang Zhao;Yun Sun;Yang Liu;Xueqin Li;Dahai Wang;Jingtao Zhou;Dexin Wu
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相位耦合垂直腔表面发射激光阵列中的二维光束控制分析
影响因子：
1.6
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Meng Xun;Yun Sun;Jingtao Zhou;Chen Xu;Yiyang Xie;Hao Wang;Qiang Kan;Zhi Jin;Xinyu Liu;Dexin Wu
通讯作者：
Dexin Wu
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作者：
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通讯作者：
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作者：
S. Blokhin;J. Lott;A. Mutig;G. Fiol;N. Ledentsov;M. Maximov;A. Nadtochiy;V. Shchukin;D. Bimberg
通讯作者：
S. Blokhin;J. Lott;A. Mutig;G. Fiol;N. Ledentsov;M. Maximov;A. Nadtochiy;V. Shchukin;D. Bimberg
影响因子：
4
作者：
H. Li;P. Wolf;Xiaowei Jia;J. Lott;D. Bimberg
通讯作者：
H. Li;P. Wolf;Xiaowei Jia;J. Lott;D. Bimberg
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通讯作者：
Liu, Sheng