Three-Dimensional Simulation Platform for Optimal Designs of the MEMS Microphone
Three-Dimensional Simulation Platform for Optimal Designs of the MEMS Microphone
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MEMS麦克风优化设计的三维仿真平台
DOI：
10.3389/fmats.2022.959480
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发表时间：
2022
影响因子：
3.2
通讯作者：
Cai J
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Cai J
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具有柔性隔膜的穿孔微机电系统中热粘性声阻尼的分析、计算和实验研究。
影响因子：
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作者：
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通讯作者：
C. Hickey
Kirigami MEMS 速度声学传感器
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
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通讯作者：
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通讯作者：
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DOI：
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通讯作者：
A. Wiesbauer
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DOI：
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发表时间：
2019
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作者：
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通讯作者：
S. Moon