Temporal evolution of ion fragment production from methylsilane by a hot tungsten wire

Temporal evolution of ion fragment production from methylsilane by a hot tungsten wire
复制标题

通过热钨丝从甲基硅烷产生离子碎片的时间演化

DOI:
--
复制
发表时间:
2006
期刊:
J. Appl. Phys. 100 (9)
影响因子:
--
通讯作者:
S.Hamaguchi
S.Hamaguchi
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
S.Yoshimura;A.Toh;T.Toyoshima;M.Kiuchi;S.Hamaguchi

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

DOI: 10.1016/s0040-6090(01)01198-1
发表时间: 2001-09-03
期刊: THIN SOLID FILMS
影响因子: 2.1
作者:
Matsumura, H
通讯作者: Matsumura, H
DOI: 10.1016/s0040-6090(01)01199-3
发表时间: 2001
期刊: Thin Solid Films
影响因子: 2.1
作者:
A. Mahan
通讯作者: A. Mahan
DOI: 10.1063/1.96000
发表时间: 1985
影响因子: 4
作者:
H. Matsumura;H. Tachibana
通讯作者: H. Tachibana
热钨丝产生的二甲基硅烷碎片离子
DOI: --
发表时间: 2006
期刊: Jpn. J. Appl. Phys. 45 (10B)
影响因子: --
作者:
S.Yoshimura;A.Toh;S.Sugimoto;M.Kiuchi;S.Hamaguchi
通讯作者: S.Hamaguchi
Freeman型混合离子源的研制及其性能
DOI: 10.1063/1.1150417
发表时间: 2000
影响因子: 1.6
作者:
Matsumoto Takashi;K. Mimoto;S. Gotô;M. Ohba;Y. Agawa;M. Kiuchi
通讯作者: M. Kiuchi