Inner Structure/Elastic Modulus Control of Micro Cantilever
Inner Structure/Elastic Modulus Control of Micro Cantilever
复制标题
微悬臂梁的内部结构/弹性模量控制
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Yoneyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Miwa;T. Michinomoto;K. Kikuchi;S. Tsuchitani;S. Yoneyama
通过立体光刻制造三维微集成流体系统（MIFS）
DOI：
10.1109/memsys.1994.555588
发表时间：
1994
期刊：
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robotic Systems
影响因子：
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作者：
K. Ikuta;K. Hirowatari;T. Ogata
通讯作者：
T. Ogata
使用微立体光刻技术制造的微悬臂梁的机械性能评估
影响因子：
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作者：
M. Miwa;H. Kawaguchi;Kazuchika Douoka;S. Yoneyama;Shigeki Tuchitani;Y. Koshimoto
通讯作者：
Y. Koshimoto
通过微光成型工艺进行架构组合
DOI：
10.1109/memsys.1994.555625
发表时间：
1994
期刊：
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robotic Systems
影响因子：
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作者：
Tarou Takagi;N. Nakajima
通讯作者：
N. Nakajima