Measurement of voltage and current in continuous and pulsed rf and dc glow discharges
Measurement of voltage and current in continuous and pulsed rf and dc glow discharges
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测量连续和脉冲射频和直流辉光放电中的电压和电流
DOI：
10.1088/1742-6596/133/1/012017
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
J. Eckert
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
V. Hoffmann;V.V. Efimova;M.V. Voronov;P. Smid;E.B.M. Steers;J. Eckert
电气测量是表征辉光放电的重要工具，并已被证明可满足基础研究中的各种需求和作为控制参数。因此，已经对连续和脉冲、直流和射频模式下的电流-电压（IU）特性进行了广泛的硬件开发和研究[1]，并将与新的结果一起提出。
Electrical measurements are an important tool for the characterisation of glow discharges and have proved to be useful for a variety of needs in fundamental studies and as control parameter. Therefore, extensive hardware developments and studies of current-voltage (IU) characteristics in continuous and pulsed, dc and rf modes have been made [1] and will be presented together with new results.
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