Low-Defect-Density Aluminum Nitride (AlN) Thin Films Realized by Zigzag Macrostep-Induced Dislocation Redirection
Low-Defect-Density Aluminum Nitride (AlN) Thin Films Realized by Zigzag Macrostep-Induced Dislocation Redirection
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通过锯齿形宏步诱导位错重定向实现低缺陷密度氮化铝 (AlN) 薄膜
DOI：
10.1021/acs.cgd.1c00170
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发表时间：
2021-04
影响因子：
3.8
通讯作者：
Shen Bo
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
He Chenguang;Wu Hualong;Jia Chuanyu;Zhang Kang;He Longfei;Wang Qiao;Li Junze;Liu Ningyang;Zhang Shan;Zhao Wei;Chen Zhitao;Shen Bo
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