Hot-wire polysilicon waveguides with low deposition temperature.
Hot-wire polysilicon waveguides with low deposition temperature.
复制标题
具有低沉积温度的热线多晶硅波导。
DOI：
10.1364/ol.38.004030
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
3.6
通讯作者：
Masaud TM
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Masaud TM
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