Growth of Strain-relaxed Si_<1-y>C_y Films with Compositionally Graded Buffer Layers by Gas Source Molecular Beam Epitaxy

Growth of Strain-relaxed Si_<1-y>C_y Films with Compositionally Graded Buffer Layers by Gas Source Molecular Beam Epitaxy
复制标题

气源分子束外延生长具有成分梯度缓冲层的应变松弛Si_<1-y>C_y薄膜

DOI:
--
复制
发表时间:
2007
期刊:
Japanese Journal of Applied Physics 46
影响因子:
--
通讯作者:
Makoto Konagai
Makoto Konagai
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Hanae Ishihara;Masahiko Murano;Akira Yamada;Makoto Konagai

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

成分梯度 SiGe/Si 中的位错滑移和阻挡动力学
DOI: --
发表时间: 2001
期刊:
影响因子: --
作者:
C. Leitz;M. Currie;A. Kim;J. Lai;E. Robbins;E. Fitzgerald;M. Bulsara
通讯作者: M. Bulsara
拉伸应变 Si 和 Si1−yCy (y ≤ 0.03) 中面内电子输运的蒙特卡罗研究
DOI: 10.1051/epjap:1999200
发表时间: 1999
影响因子: 1
作者:
P. Dollfus;S. Galdin;P. Hesto
通讯作者: P. Hesto
以非常高的速率生长的分级 SiGe 缓冲器的应变松弛
DOI: 10.1016/s0921-5107(99)00343-8
发表时间: 2000
影响因子: 3.6
作者:
C. Rosenblad;J. Stangl;E. Müller;G. Bauer;H. Känel
通讯作者: H. Känel
阶梯梯度 SiGe/Si 结构中应变弛豫的演变
DOI: 10.1063/1.114126
发表时间: 1995
影响因子: 4
作者:
P. Mooney;J. Jordan;J. Chu;F. Legoues
通讯作者: F. Legoues
气源分子束外延生长的 Si(001) 上外延 Si1-yCy 层的表征
DOI: 10.1016/s0022-0248(02)02444-2
发表时间: 2003
影响因子: 1.8
作者:
K. Abe;A. Yamada;M. Konagai
通讯作者: M. Konagai