A Robust and Sensitive Silicon Tactile Imager with Individually Formed SU-8 Protective Layers on Piezoresistor Pixels
A Robust and Sensitive Silicon Tactile Imager with Individually Formed SU-8 Protective Layers on Piezoresistor Pixels
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坚固且灵敏的硅触觉成像仪，在压敏电阻像素上具有单独形成的 SU-8 保护层
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Takao;et al.
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具有指纹结构的薄膜型 Si-MEMS 触觉成像仪，实现滑动传感能力
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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作者：
H. Okada;M. Yawata;M. Ishida;K. Sawada;H. Takao
通讯作者：
H. Takao
基于高密度 CMOS 应力传感器阵列和 SU-8 微柱的智能刷
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS
影响因子：
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作者：
P. Gieschke;J. Held;M. Doelle;J. Bartholomeyczik;P. Ruther;O. Paul
通讯作者：
O. Paul
DOI：
10.1073/pnas.0401918101
发表时间：
2004-07-06
影响因子：
11.1
作者：
Someya, T;Sekitani, T;Sakurai, T
通讯作者：
Sakurai, T
气动膨胀单隔膜结构硅智能触觉图像传感器
DOI：
10.1109/mems.2004.1290719
发表时间：
2004
期刊：
17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems. Maastricht MEMS 2004 Technical Digest
影响因子：
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作者：
H. Takao;K. Sawada;M. Ishida
通讯作者：
M. Ishida
影响因子：
4.3
作者：
Shimojo, M;Namiki, A;Mabuchi, K
通讯作者：
Mabuchi, K