Micro- and nanocoordinate measurements of micro-parts with 3-D tunnelling current probing

Micro- and nanocoordinate measurements of micro-parts with 3-D tunnelling current probing
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使用 3D 隧道电流探测对微型零件进行微米和纳米坐标测量

DOI:
10.5194/jsss-4-199-2015
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发表时间:
2015
影响因子:
1
通讯作者:
Hausotte
Hausotte
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Schuler;Hausotte

文献摘要

参考文献

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