Influence of Film Thickness on Structural Properties of Microcrystalline Films
Influence of Film Thickness on Structural Properties of Microcrystalline Films
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膜厚对微晶薄膜结构性能的影响
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Yoshioka;et al.
原子氢退火非晶硅低温晶化机理
影响因子：
3.5
作者：
A. Heya;A. Masuda;H. Matsumura
通讯作者：
H. Matsumura
影响因子：
1.5
作者：
A. Heya;A. Izumi;A. Masuda;H. Matsumura
通讯作者：
H. Matsumura
影响因子：
1.5
作者：
T. Sameshima;K. Saitoh;N. Aoyama;S. Higashi;M. Kondo;A. Matsuda
通讯作者：
A. Matsuda