Scaling of silicon nanoparticle growth in low temperature flowing plasmas
Scaling of silicon nanoparticle growth in low temperature flowing plasmas
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低温流动等离子体中硅纳米粒子生长的缩放
DOI：
10.1063/5.0062255
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发表时间：
2021
影响因子：
3.2
通讯作者：
Kushner, Mark J.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Lanham, Steven J.;Polito, Jordyn;Shi, Xuetao;Elvati, Paolo;Violi, Angela;Kushner, Mark J.
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通讯作者：
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R. Franklin
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通讯作者：
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通讯作者：
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