A Review of Capabilities and Scope for Hybrid Integration Offered by Silicon-Nitride-Based Photonic Integrated Circuits.
A Review of Capabilities and Scope for Hybrid Integration Offered by Silicon-Nitride-Based Photonic Integrated Circuits.
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DOI：
10.3390/s22114227
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发表时间：
2022-06-01
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在这篇综述中，我们介绍了氮化硅光子集成电路领域的一些最新进展。审查的重点是目前可用的材料沉积技术，说明每种技术的能力。然后，该评论扩展了平台的功能化，以实现非线性处理，光学调制，非易失性光学存储器和与III-V族材料的集成，以获得激光或增益能力。
In this review we present some of the recent advances in the field of silicon nitride photonic integrated circuits. The review focuses on the material deposition techniques currently available, illustrating the capabilities of each technique. The review then expands on the functionalisation of the platform to achieve nonlinear processing, optical modulation, nonvolatile optical memories and integration with III-V materials to obtain lasing or gain capabilities.
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作者：
Blumenthal, Daniel J.;Heideman, Rene;Roeloffzen, Chris
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Roeloffzen, Chris
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