Estimation of Young's Modulus for Polysilicon Thin Film by Finite Element Analysis
Estimation of Young's Modulus for Polysilicon Thin Film by Finite Element Analysis
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通过有限元分析估算多晶硅薄膜的杨氏模量
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Imoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Tanaka;K.Minoshima;T.Imoto
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影响因子：
2.1
作者：
Greek, S;Ericson, F;Schweitz, JA
通讯作者：
Schweitz, JA
轧制金属薄膜疲劳性能与微观结构的关系
DOI：
10.1299/jsmea.45.504
发表时间：
2002
期刊：
Jsme International Journal Series A-solid Mechanics and Material Engineering
影响因子：
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作者：
K. Shimizu;T. Torii
通讯作者：
T. Torii
(001)纤维织构立方多晶薄膜弹性变形的有限元分析
DOI：
10.2472/jsms.53.150
发表时间：
2004
期刊：
Journal of The Society of Materials Science, Japan
影响因子：
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作者：
K. Serizawa;Keisuke Tanaka;Hirohisa Kimachi;Y. Akiniwa
通讯作者：
Y. Akiniwa
使用静电力夹具对多晶硅薄膜进行拉伸测试。
DOI：
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发表时间：
1996
期刊：
影响因子：
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作者：
T. Tsuchiya;O. Tabata;J. Sakata;Y. Taga
通讯作者：
Y. Taga
双向织构金属基底上生长的CeO_2薄膜的晶体取向和微观结构
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
J.Japan Inst.Metals Vol.68
影响因子：
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作者：
Zhang;F;日比 一喜;Tomoki TANAKA et al.;Kaname Matsumoto
通讯作者：
Kaname Matsumoto