A novel analytical approach for multi-Layer diaphragm-based optical micro-electromechanical-system pressure sensors
A novel analytical approach for multi-Layer diaphragm-based optical micro-electromechanical-system pressure sensors
复制标题
一种基于多层隔膜的光学微机电系统压力传感器的新颖分析方法
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
et. al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Li;et. al.
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基于微机械法布里-珀罗腔的传感器的制造设计
影响因子：
4.6
作者：
Youngmin Kim;D. Neikirk
通讯作者：
D. Neikirk
DOI：
10.1016/0250-6874(89)87111-2
发表时间：
1989-11
期刊：
Sensors and Actuators
影响因子：
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作者：
O. Tabata;K. Kawahata;S. Sugiyama;I. Igarashi
通讯作者：
O. Tabata;K. Kawahata;S. Sugiyama;I. Igarashi
基于法布里-珀罗腔的MOEMS滤波器可调谐光学特性分析
影响因子：
2.4
作者：
Wei;Xiang;Bi;Zhu Yong;Liu Xu;Guo Peifu
通讯作者：
Guo Peifu
采用白光干涉测量法的真空密封超微型光纤压力传感器
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Digest of Technical Papers (Cat. No.03TH8664)
影响因子：
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作者：
K. Totsu;Y. Haga;M. Esashi
通讯作者：
M. Esashi