Single-Grain TFTs on Location Contorolled Crystal Grains Formed by Excimer Laser Crystallization of Si Thin Films

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准分子激光结晶硅薄膜形成的位置控制晶粒上的单晶薄膜晶体管

DOI:
--
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发表时间:
2004
期刊:
Tech. Dig. International Electron Devices Meeting
影响因子:
--
通讯作者:
T.Asano
T.Asano
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
H.Kumomi;C.Shin;G.Nakagawa;T.Asano

文献摘要

参考文献

被引文献

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