2D Angular distributions of ion sputtered germanium atoms under grazing incidence
2D Angular distributions of ion sputtered germanium atoms under grazing incidence
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掠入射下离子溅射锗原子的二维角分布
DOI：
10.1016/j.mee.2009.11.068
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发表时间：
2009
影响因子：
2.3
通讯作者：
H. Ryssel
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Sekowski;A. Burenkov;H. Ryssel
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掠入射时用高能氘溅射的原子的球形角分布
DOI：
--
发表时间：
1984
期刊：
影响因子：
--
作者：
R. Becerra;J. Bohdansky;W. Eckstein;J. Roth
通讯作者：
J. Roth
用于材料改性的多功能离子注入机
DOI：
--
发表时间：
1989
期刊：
影响因子：
--
作者：
R. Öchsner;A. Kluge;H. Ryssel
通讯作者：
H. Ryssel
二元化合物的角分布和微分溅射产率随入射角的变化
DOI：
10.1016/0167-5087(83)91077-3
发表时间：
1983
期刊：
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research
影响因子：
--
作者：
J. Roth;J. Bohdansky;W. Eckstein
通讯作者：
W. Eckstein
离子束辐照硅片表面和底层晶体层的波纹结构
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
作者：
J. Grenzer;A. Biermanns;A. Mücklich;S. Grigorian;U. Pietsch
通讯作者：
U. Pietsch
DOI：
--
发表时间：
2010
期刊：
Microelectron. Eng.
影响因子：
--
作者：
M.Furubayashi;K.Nagato;H.Moritani;T.Hamaguchi;M.Nakao
通讯作者：
M.Nakao