The isotope effects between hydrogen and deuterium microwave plasmas on chemical vapor deposition homoepitaxial diamond growth
The isotope effects between hydrogen and deuterium microwave plasmas on chemical vapor deposition homoepitaxial diamond growth
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氢、氘微波等离子体对化学气相沉积同质外延金刚石生长的同位素效应
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Mizuochi;et al.
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影响因子：
4
作者：
M. Katagiri;J. Isoya;S. Koizumi;H. Kanda
通讯作者：
M. Katagiri;J. Isoya;S. Koizumi;H. Kanda
低 CH4/H2 比下同质外延金刚石薄膜生长中表面形貌的取向差角依赖性
影响因子：
1.8
作者：
S. Ri;H. Yoshida;S. Yamanaka;H. Watanabe;D. Takeuchi;H. Okushi
通讯作者：
H. Okushi
阶跃流模式生长的同质外延金刚石薄膜的结特性
影响因子：
3.2
作者：
S. Yamanaka;H. Watanabe;S. Masai;S. Kawata;K. Hayashi;D. Takeuchi;H. Okushi;K. Kajimura
通讯作者：
K. Kajimura
使用三甲基硼的高质量 B 掺杂同质外延金刚石薄膜
影响因子：
1.5
作者：
S. Yamanaka;H. Watanabe;S. Masai;D. Takeuchi;H. Okushi;K. Kajimura
通讯作者：
K. Kajimura
影响因子：
4.3
作者：
H. Tawara;Y. Itikawa;H. Nishimura;M. Yoshino
通讯作者：
H. Tawara;Y. Itikawa;H. Nishimura;M. Yoshino