Growth Control of α-Ga2O3 Thin Films using Chloride-Based Gallium Source Solutions in Mist Chemical Vapor Deposition

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在雾化学气相沉积中使用氯化镓源溶液控制 α-Ga2O3 薄膜的生长

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
and Ichiro Tanaka
and Ichiro Tanaka
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Kazuyuki Uno;Kazutoshi Matsumoto;and Ichiro Tanaka

文献摘要

参考文献

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