Growth Control of α-Ga2O3 Thin Films using Chloride-Based Gallium Source Solutions in Mist Chemical Vapor Deposition
Growth Control of α-Ga2O3 Thin Films using Chloride-Based Gallium Source Solutions in Mist Chemical Vapor Deposition
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在雾化学气相沉积中使用氯化镓源溶液控制 α-Ga2O3 薄膜的生长
DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
and Ichiro Tanaka
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Kazuyuki Uno;Kazutoshi Matsumoto;and Ichiro Tanaka
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影响因子:
2.3
作者:
Kobayashi, Takuma;Gake, Tomoya;Matsushita, Yu-ichiro
通讯作者:
Matsushita, Yu-ichiro
影响因子:
2.1
作者:
S. Morimoto;H. Nishinaka;M. Yoshimoto
通讯作者:
S. Morimoto;H. Nishinaka;M. Yoshimoto
DOI:
10.1002/pssa.202200721
发表时间:
2022
期刊:
physica status solidi (a)
影响因子:
--
作者:
S. Vogt;Clemens Petersen;M. Kneiß;D. Splith;T. Schultz;H. von Wenckstern;Norbert Koch;M. Grundmann
通讯作者:
M. Grundmann
DOI:
10.2139/ssrn.4303479
发表时间:
2023
期刊:
SSRN Electronic Journal
影响因子:
--
作者:
S. Boldbaatar;V. Janardhanam;M. Zumuukhorol;Hoon;Hae;H. Kim;K. Shim;Chel
通讯作者:
Chel