Ultra light-weight and high-resolution X-ray mirrors using DRIE and X-ray LIGA techniques for space X-ray telescopes
Ultra light-weight and high-resolution X-ray mirrors using DRIE and X-ray LIGA techniques for space X-ray telescopes
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使用用于空间 X 射线望远镜的 DRIE 和 X 射线 LIGA 技术的超轻、高分辨率 X 射线反射镜
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
R.Maeda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
E.Yuichiro;I.Mitsuishi;U.Takagi;M.Koshiishi;K.Mitsuda;N.Y.Yamasaki;T.Ohashi;F.Kato;S.Sugiyama;R.E.Riveros;H.Yamaguchi;S.Fujihira;Y.Kanamori;K.Morishita;K.Nakajima;R.Maeda
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利用MEMS技术开发超轻型X射线望远镜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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作者：
Hiromi Morishita;Yuichiro Ezoe;Kumi Ishikawa;Masaki Numazawa;Daiki Ishi;Aoto Fukushima;Tomoki Uchino;Sae Sakuda;Ayata Inagaki;Yoko Ueda;Luna Sekiguchi;Tsuji Yukine;Takatoshi Murakawa;Kazuhisa Mitsuda;Kohei Morishita;Kazuo Nakajima;Yoshiaki
通讯作者：
Yoshiaki
使用 (110) 硅片各向异性湿法蚀刻的 Micropare X 射线光学器件
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Applied Optics IP 45
影响因子：
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作者：
Y.Ezoe;M.Kshiishi;M.Mita;K.Mitsuda;A.Hoshino;Y.Ishisaki ほか
通讯作者：
Y.Ishisaki ほか
用于空间天文学的微机械 X 射线收集器
DOI：
10.1016/j.sna.2007.12.003
发表时间：
2007
期刊：
TRANSDUCERS 2007 - 2007 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference
影响因子：
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作者：
Y. Ezoe;M. Koshiishi;M. Mita;Y. Maeda;K. Mitsuda;T. Osawa;M. Suzuki;A. Hoshino;Y. Ishisaki;T. Takano;R. Maeda
通讯作者：
R. Maeda
采用 LIGA 工艺的高纵横比静电微型执行器
DOI：
10.1007/s005420000064
发表时间：
2000
期刊：
Microsystem Technologies
影响因子：
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作者：
R. Kondo;S. Takimoto;K. Suzuki;S. Sugiyama
通讯作者：
S. Sugiyama
XEUS 任务的 X 射线光学器件开发现状
DOI：
10.1117/12.552935
发表时间：
2004
期刊：
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影响因子：
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作者：
M. Bavdaz;D. Lumb;A. Peacock;M. Beijersbergen;S. Kraft
通讯作者：
S. Kraft