A dual-unit pressure sensor for on-chip self-compensation of zero-point temperature drift
A dual-unit pressure sensor for on-chip self-compensation of zero-point temperature drift
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片上零点温漂自补偿双单元压力传感器
DOI：
10.1088/0960-1317/24/8/085010
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发表时间：
2014-08
影响因子：
2.3
通讯作者：
Li, Xinxin
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Wang, Jiachou;Li, Xinxin
提出并研制了一种新型的双单元压阻式压力传感器，该传感器由敏感单元和虚拟单元组成，可实现零点温漂的片上自补偿。实施MIS（微孔间蚀刻和密封）工艺
A novel dual-unit piezoresistive pressure sensor, consisting of a sensing unit and a dummy unit, is proposed and developed for on-chip self-compensation for zero-point temperature drift. With an MIS (microholes inter-etch and sealing) process implemented
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用于裸芯片 SMT（表面安装技术）封装的全前端批量微加工单芯片微流量传感器
影响因子：
2.3
作者：
Liu, Jiedan;Wang, Jiachou;Li, Xinxin
通讯作者：
Li, Xinxin
影响因子：
2.3
作者：
A. KoellenspergerP;J. KarlW;M. AhmadM;T. PikeW;M. Green
通讯作者：
A. KoellenspergerP;J. KarlW;M. AhmadM;T. PikeW;M. Green
DOI：
--
发表时间：
2004-02
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
L. Freund;S. Suresh
通讯作者：
L. Freund;S. Suresh
DOI：
10.1016/s1386-2766(00)x8001-2
发表时间：
2000-10
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
M. Bao
通讯作者：
M. Bao
影响因子：
4.6
作者：
Chen, Lung-Tai;Cheng, Wood-Hi
通讯作者：
Cheng, Wood-Hi