High aspect ratio, high-quality microholes in PMMA: a comparison between femtosecond laser drilling in air and in vacuum
High aspect ratio, high-quality microholes in PMMA: a comparison between femtosecond laser drilling in air and in vacuum
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PMMA 中的高深宽比、高质量微孔：空气中和真空中飞秒激光钻孔的比较
DOI：
10.1007/s00339-014-8955-5
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发表时间：
2015
影响因子：
2.7
通讯作者：
Yongfeng Lu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Xiaowei Li;Xueliang Yan;Weiwei Zhao;Yongfeng Lu
微孔，特别是高深宽比、高质量的小直径（<100 μm）微孔，具有广阔的应用前景。然而，传统的钻削方法很难获得深微孔，特别是深宽比超过50：1的孔
Microholes, especially high aspect ratio, high-quality microholes with small diameters (<100 μm), have broad applications. However, it is very difficult for traditional drilling methods to obtain deep microholes, especially with aspect ratios of over 50:1
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