Nanocone formation on ion-bombarded InP surfaces
Nanocone formation on ion-bombarded InP surfaces
复制标题
离子轰击 InP 表面上的纳米锥形成
DOI：
10.1016/j.apsusc.2015.07.156
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发表时间：
2015
影响因子：
6.7
通讯作者：
H. Gnaser
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
D. Kramczynski;H. Gnaser
在垂直入射条件下，用2.1keV Ar+离子轰击InP(1：0：0)表面。样品的总累积离子通量大致从1×1017 cm−2到3×1018 cm−2不等，而离子通量的范围是(0.1−2)×10 14 cm−2s−1。用扫描电子显微镜(SEM)观察了离子辐照后的表面形貌。对于特定范围的离子通量和通量，可以形成规则的紧密间隔的纳米锥体阵列，锥体的典型底部直径约为100微米。在它们的外围，它们通常表现出相当明显的突起，这一观察结果在以前的调查中没有报道。对纳米锥形成初期阶段的考察表明，吸附原子岛的生长，首先是在原始表面上，然后是在以前形成的岛屿上，可能会导致这些3D纳米结构。这一发现将表明，表面原子的扩散过程构成了观测到的地形演变的一个重要机制。
Surfaces of InP(1 0 0) were bombarded by 2.1 keV Ar+ions under normal incidence. The total accumulated ion fluence the samples were exposed to was varied roughly from 1 × 1017cm−2to 3 × 1018cm−2while ion fluxes in the range of (0.1−2) × 1014cm−2s−1were used. The surface morphology resulting from these ion irradiations was examined by scanning electron microscopy (SEM). For a specific range of ion fluxes and fluences, regular closely-spaced nanocone arrays are found to form, with the cones having typical base diameters of about 100 nm. Around their outer peripheries, they commonly exhibit rather distinct protrusions, an observation not reported in previous investigations. The inspection of the initial stages of nanocone formation indicates that the growth of adatom islands, first on the pristine surface and later on previously formed islands, may lead to these 3D nanostructures. This finding would imply that surface diffusion processes of adatoms constitute an important mechanism in the evolution of the observed topography.
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