Correlation between volume fraction of clusters incorporated into a-Si:H films and hydrogen content associated with Si-H_2 bonds in the films
Correlation between volume fraction of clusters incorporated into a-Si:H films and hydrogen content associated with Si-H_2 bonds in the films
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a-Si:H薄膜中团簇的体积分数与薄膜中Si-H_2键相关的氢含量之间的相关性
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yukio Watanabe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazunori Koga;Naoto Kaguchi;Masaharu Shiratani;Yukio Watanabe
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