Control of atomic layer degradation on Si substrate,
Control of atomic layer degradation on Si substrate,
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控制硅衬底上原子层退化，
DOI：
--
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
S.Iseda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Nakamura;T.Tatsumi;S.Kobayashi;K.Kugimiya;T.Harano;A.Ando;T.Kawase;S.Hamaguchi;S.Iseda
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