Quadrupole lens alignment with improved STIM and secondary electron imaging for Proton Beam Writing
Quadrupole lens alignment with improved STIM and secondary electron imaging for Proton Beam Writing
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四极透镜对准，具有改进的 STIM 和二次电子成像，用于质子束写入
DOI：
10.1016/j.nimb.2016.12.016
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发表时间：
2017
影响因子：
1.3
通讯作者：
J.A. van Kan
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Quershi;P.S. Raman;A. Stegmaier;J.A. van Kan
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发表时间：
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通讯作者：
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