H2 Dilution Effect in the Cat-CVD Processes of the SiH4/NH3 System
H2 Dilution Effect in the Cat-CVD Processes of the SiH4/NH3 System
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SiH4/NH3 系统 Cat-CVD 过程中的 H2 稀释效应
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.G.Ansari et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yukari Matsuo;Yoshimitsu Fukuyama;Yoshiki Moriwaki;Hiroto TACHIKAWA;H.Matsumura et al.;S.Kondo;Hiroto TACHIKAWA;A.Masuda et al.;Hiroto TACHIKAWA;Hiroto TACHIKAWA;M.A.Dar et al.;Hiroto TACHIKAWA;S.G.Ansari et al.
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