Interpretation of dominant impurities in Cu films by SIMS and GDMS
Interpretation of dominant impurities in Cu films by SIMS and GDMS
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通过 SIMS 和 GDMS 解释铜膜中的主要杂质
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J.-W.Lim
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Keiichi;N.;Ishihara;Fumie;Kubo;Kohei;Irie;Kazuyoshi;Shichi;Eiji;Yamasue;Hideyuki;Okumura;J.-W.Lim
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影响因子：
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