Engineering Research Equipment Grant: Laser Induced Chemistry, Deposition and Spectroscopy

工程研究设备补助金：激光诱导化学、沉积和光谱学

• 批准号: 8507068
• 负责人: S. Babu
• 金额: $ 3.83万
• 依托单位: Clarkson University
• 依托单位国家: 美国
• 项目类别: Standard Grant
• 财政年份: 1985
• 资助国家: 美国
• 起止时间: 1985-05-01 至 1986-10-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8507068&HistoricalAwards=false
• 关键词: Engineering; Research; Equipment; Grant; Laser

The goal of this research effort is to successfully deposit copper by a technique using a laser. The incentives to master this methodology relate to fabrication of micron and submicron features on chips for electronics applications. Other researchers are also expected to use the new system in their studies on vapor deposition, eutectic microstructures, and substrate system fabrication. The equipment to be used for the research project includes a detection system, rapid scan spectrometer and an interfacing computer system.

这项研究工作的目标是成功地存款铜 技术使用激光。 掌握这种方法的动机 涉及在芯片上制造微米和亚微米特征， 电子应用。 其他研究人员预计也将使用 他们研究气相沉积、共晶、 微结构和衬底系统制造。 的装备 用于研究项目的检测系统包括快速扫描 光谱仪和接口计算机系统。