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The Use of Energetic Ions for Analysis and Modification of Surface Adsorbates on Silicon (Materials Research)

使用高能离子分析和改性硅表面吸附物（材料研究）

基本信息

批准号：
8617593
负责人：
Lucy Seiberling
金额：
--
依托单位：
University of Pennsylvania
依托单位国家：
美国
项目类别：
Continuing grant
财政年份：
1987
资助国家：
美国
起止时间：
1987-02-01 至 1988-08-01
项目状态：
已结题

来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8617593&HistoricalAwards=false
关键词：
Use Energetic Ions Analysis Modification

项目摘要

项目成果

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